武漢高芯申請硫化鋅/碲化鎘復合鈍化膜的開孔方法及碲鎘汞器件專利

國家知識產權局信息顯示，武漢高芯科技有限公司申請一項名為“一種硫化鋅/碲化鎘復合鈍化膜的開孔方法及碲鎘汞器件”的專利，公開號CN 119836031 A，申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示，本發明涉及半導體材料加工制備技術領域，具體涉及一種硫化鋅/碲化鎘復合鈍化膜的開孔方法及碲鎘汞器件，包括如下步驟：S1、在器件的硫化鋅/碲化鎘復合鈍化膜表面制作光刻膠開孔圖形；S2、對硫化鋅鈍化膜進行腐蝕開孔；S3、在硫化鋅鈍化膜開孔的側壁上覆蓋保護層；S4、對碲化鎘鈍化膜進行腐蝕開孔；S5、去除所述保護層和所述光刻膠開孔圖形。本發明在硫化鋅鈍化膜開孔之后、碲化鎘鈍化膜開孔之前，通過在硫化鋅鈍化膜開孔的側壁上覆蓋保護層，有效避免了后續碲化鎘鈍化膜腐蝕開孔時對硫化鋅鈍化膜開孔造成擴腐蝕，顯著提高了硫化鋅/碲化鎘復合鈍化膜開孔孔徑的均勻性和精確度。

天眼查資料顯示，武漢高芯科技有限公司，成立于2013年，位于武漢市，是一家以從事科技推廣和應用服務業為主的企業。企業注冊資本33800萬人民幣。通過天眼查大數據分析，武漢高芯科技有限公司共對外投資了1家企業，參與招投標項目62次，財產線索方面有商標信息22條，專利信息366條，此外企業還擁有行政許可20個。

(關鍵字：碲化鎘)